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电容式加速度传感器你了解多少?

编辑:北戴河实用电子技术研究所时间:2020-12-07

今天小编带大家了解一下电容式加速度传感器的几个相关小知识,首先我们要先知道什么是电容式传感器。接下来我们就先介绍一下它。

 

电容式加速度传感器是基于电容原理具有可变极距的电容传感器。一个电极是固定的,另一个可变电极是弹性隔膜。弹性膜片在空气压力和液压压力等外力的作用下发生位移,电容发生变化。这种传感器可以测量气流亦或是液流的振动速度或者加速度,还可以进一步测出压力。由双面单晶硅晶片制成,首要工艺包括光刻、硅玻璃键合技能和深度反应离子刻蚀技能等。

电容式加速度传感器制作过程如下所示:

1、清洗硅片后替换运用干湿氧化制备献身层 。 

2、用键合区掩膜版初次光刻,腐蚀未有光刻胶的二氧化硅。

3、依据版型蚀刻。

4、去除未被腐蚀二氧化硅。  

5、如一步制备新玻璃基片,溅射金属铝。 

6、对玻璃基片二次光刻,构成栅形电极图形。

7、将硅片及玻璃基底键合。 

8、打磨厚度。 

9、三次蚀刻达到要求结构。

以上就是小编带来的“电容式加速度传感器”的相关知识,了解这些知识有助于我们更好的使用这些来为我们的生活提供便利,希望今天分享的小知识可以给大家带来帮助。