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电容式加速度振动传感器原理

编辑:北戴河实用电子技术研究所时间:2020-08-25

           电容式加速度传感器在社会中普遍被应用,被越来越多的人喜爱,那么它有什么原理呢?

           电容式加速度传感器在工作中与压阻式加速度振动传感器相似,因为它们测量桥梁电路的变化。然而,它们不是电阻,而是测量电容的变化。传感元件由两个平行板电容器组成,并以差动方式工作。它们依靠在载体上或解调器电路的等效电路产生的电输出与加速度成比例。有几种类型的电容元件。一种类型包括金属敏感膜片和氧化铝电容器板。两个企业固定板将隔膜夹在中间,形成一个两个传统电容器。每个都有自己一个企业固定板,两个共用隔膜作为可移动板。

      电容式加速度传感器原理:

       当出现加速度时,电容式加速度振动通过传感器工作经历由电极材料之间的距离不断变化可以引起的电容偏移。此变化而变化,由于弯曲的弯曲运动也被用来作为电极。

当传感器被放置在地球的重力场或加速度在测试结构上,质量弹簧质量振动成比例进行了弹簧质量的力,和由F =毫安支配。因此,弹簧质量根据弹簧方程线性偏转:

       该偏转导致电极和弹簧质量之间的距离变化。根据以下因素,这些发展变化对每个学生相对的电容器间隙有直接通过影响:

           电容式加速度计需要具有两种功能的内部电路:它允许动态和静态电容的变化的事件进行测量是有用的,并转换成与电压信号相兼容的变化读取装置。 硅微加工技术可用于制造电容式加速度计和压电和压阻式。硅的单晶性质、机械接头的消除和机械止动器的化学加工生产出了具有高量程能力的传感器。使用不同气体而不是硅油作为一个阻尼介质可在宽温度控制范围内进行扩展阻尼特性。 一系列沟槽和孔挤压挤压气体的中心质量,其热粘度相对于硅油的热粘度通过结构的质量位移变化不大。电容式MEMS加速度计可测量从<2 g到数百g的加速度以及高达1 kHz的频率,并可承受5000 g或更高的冲击水平。使用信号注入元件,桥梁和完整的调节信号最电子设备。这些加速度计的负面因素影响是有限的高频使用范围,相对具有较大的相移,以及比可比压电材料类型进行更高的噪声。

           那么关于电容式加速度传感器的介绍就到这里啦,有什么问题欢迎留言跟我们一起讨论哦。