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电容式加速度传感器的原理概括

编辑:北戴河实用电子技术研究所时间:2021-10-22

  电容式加速度传感器是基于电容原理的变极距电容式加速度传感器,其中一个电极是固定的,另一个可变电极是弹性膜片。弹性膜片在外力(气压、液压等)的作用下发生位移。),这会改变电容。该传感器可以测量气流(或液流)的振动速度(或加速度),进而测量压力。

  电容式加速度传感器具有电路结构简单、频率范围宽约0~450 Hz、线性度小于1%、灵敏度高、输出稳定、温漂小、测量误差小、稳态响应、输出阻抗低、输出功率与振动加速度关系计算简单、方便、容易等优点。具有很高的实际应用价值。

  但缺点是信号的输入输出是非线性的,范围有限,而且电容式加速度传感器本身是高阻抗信号源,因此电容式加速度传感器的输出信号往往需要通过后续电路进行改善。在实际应用中,电容式加速度传感器多用于低频测量,通用性不如压电加速度传感器,成本也远高于压电加速度传感器。

  电容式加速度传感器是一种通用加速度传感器。它在一些领域是不可替代的,比如安全气囊、手机和移动设备。电容式加速度传感器采用MEMS技术。它在大规模生产中变得经济,从而确保较低的成本。