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电容式加速度传感器的应用

编辑:北戴河实用电子技术研究所时间:2022-09-27

  现代科学技术要求加速度传感器应用于许多领域,如军事工业、空间系统、科学测量等。需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。传统加工方法制造的加速度传感器不能wan全满足这些要求,于是新兴的微加工技术制造的微加速度传感器应运而生。

  这种传感器体积小,重量轻,功耗低,启动快,成本低,可靠性高,易于实现数字化和智能化。微机械结构精que可重复,易于集成,适合大批量生产,性价比很高,因此将在加速度传感器市场占据主导地位。

  根据工作原理,加速度传感器可以分为几类:电容式加速度传感器;电阻式加速度传感器:压电式加速度传感器。根据不同工作场景的要求,应用相应的加速度计。这里先简单说一下电容式加速度传感器,其结构一般采用弹簧质量系统。当质量在加速度的作用下运动时,质量块与固定电极之间的间隙发生变化,进而改变电容值。与其他类型的加速度传感器相比,电容式加速度计具有灵敏度高、零频响、环境适应性好等特点,尤其是受温度影响较小。但缺点是信号的输入输出是非线性的,范围有限,受电缆电容的影响,而且电容传感器本身是高阻抗信号源,所以电容传感器的输出信号往往需要后续电路来改善。在实际应用中,电容式加速度传感器多用于低频测量,但通用性不如压电式加速度传感器,成本也远高于压电式加速度传感器。

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